電子物理デバイスコース
助教
研究テーマ
ナノ物質を用いたイメージング・宇宙・耐環境用MEMSデバイスの研究
専門分野
真空ナノデバイス
ナノ物質と微細加工技術を用いた宇宙・耐環境用デバイスの研究
微細加工技術及びナノ物質を用い、宇宙の中に電離層や宇宙線、極低・高温等の過酷環境でも耐久性が強い宇宙・耐環境用MEMSデバイスの研究をしています。
ナノ物質と微細加工技術を用いたイメージングデバイスの研究
微細加工技術と高融点ナノ材料を用いて微小突起アレイ陰極を作製し、紫外線発光源用高気圧プラズマ源の研究。
